Подробное описание документа

Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А.
   Нанотехнологии и микромеханика : учебное пособие : Ч. 6 : Базовые технологические процессы микросистемной техники / Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2013. - 64 с. - ISBN 978-5-7038-3729-0.

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/343562

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Коллекция

ЭБС «Айбукс»