Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Нанотехнологии и микромеханика: учебное пособие / Иванов Ю. А., Башков В. М., Шашурин В. Д., Федоркова Н. В. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007. - 56 с. - ISBN 5-7038-2938-0.

Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».