Подробное описание документа

   Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие / Под ред. Ю. Б. Цветкова. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 176 с. - ISBN 978-5-7038-3319-3.

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/343836

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».