Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии : учеб. пособие / Шашурин В. Д., Малышев К. В., Мешков С. А., Скороходов Е. А., Нарайкин О. С. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 42 с. - ISBN 047-2009.

Настоящее издание соответствует учебной программе курса «Специальные технологические методы в нанотехнологии». Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно)лучевой эпитаксии для их применения в нано-приборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6-го курса приборостроительных специальностей.