Личный кабинет
Подробное описание документа
Технология микросистемной техники : учеб. Пособие – ч. 1 : Методы микрообработки / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010. -
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрооб-работка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.
