Подробное описание документа

Базиненков А. М., Каменихин А. Т.
   Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : учебно-методическое пособие. — 2-е изд., испр. / Базиненков А. М., Каменихин А. Т. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 62 с. - ISBN 978-5-7038-5384-9.

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/378450

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана.