Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Михайлов В. П., Базиненков А. М.
   Механизмы прецизионных перемещений : учебное пособие / Михайлов В. П., Базиненков А. М. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. - 209 с. - ISBN 978-5-7038-5529-4.

Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро-и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».