Личный кабинет
Подробное описание документа
Саноян А. Г., Еремина И. Н.
Энтропийные модели микро- и наноструктур : учебное пособие / Саноян А. Г., Еремина И. Н. - [Б.м.] : РЕАВИЗ, 2010. -
Процесс создания микро- и наноразмерных устройств рассматривается с позиции реализации комплекса мер, направленных на повышение вероятности размещения атомов определенного типа в заданных точках физического пространства. Вероятностный подход при рассмотрении технологической проблематики реализован с позиций методологии теории информации. Предложены энтропийные критерии оценки качества микро- и нанотехнологий, позволяющие сформировать требования к технологическим процессам во взаимосвязи со сложностью и выходом годных изделий. Введены в рассмотрение представления об информационном потенциале и дефиците микро- и нанотехнологий. Приведены результаты количественных оценок энтропийных показателей качества твердотельных наноустройств и технологий их создания. Учебное пособие адресовано широкому кругу специалистов, связанных по роду своей деятельности с вопросами разработки и создания микро- и наноразмерных устройств.
