Личный кабинет
Подробное описание документа
Перинский В. В., Перинская И. В., Вениг С. Б.
Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами : учебное пособие / Перинский В. В., Перинская И. В., Вениг С. Б. - Вузовское образование, 2021. -
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследования эффектов ионной имплантации диэлектриков ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках тепловыделяющих элементов ядерных реакторов, повышение твердости и износостойкости полимерных диэлектрических покрытий интегральных схем, создание медицинских имплантатов. В учебном пособии изложены результаты исследований физико-химических процессов, протекающих в диэлектриках при имплантации ионов высоких энергий, с целью повышения эксплуатационных свойств. Издание включает следующие разделы: достижения ионной имплантации диэлектриков, закономерности материаловедения диэлектриков при взаимодействии ускоренных ионов с диэлектрическими материалами, процедура компьютерного моделирования процесса ионного внедрения в технологии модифицирования диэлектрических структур. Книга будет интересна и полезна преподавателям, научным работникам, инженерам, а также магистрантам и аспирантам укрупненных групп специальностей и направлений подготовки 15.00.00 «Машиностроение», 28.00.00 «Нанотехнологии и наноматериалы» при изучении дисциплин «Новые конструкционные материалы», «Функциональные покрытия изделий машиностроения», «Наноматериалы и нанотехнологии в машиностроении», «Тонкопленочные технологии в упрочнении изделий машиностроения», «Применение СВЧ энергии в нанотехнологиях».
