Личный кабинет
Подробное описание документа
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / Достанко А. П., Аваков С. М., Голосов Д. А. [и др.] ; ред. Достанко А. П. - Белорусская наука, 2020. -
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
