Подробное описание документа

Методы исследования структуры твердых тел : учебное пособие / Ожерельев В. В., Костюченко А. В., Канныкин С. В. [и др.]. - Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2021. -
В учебном пособии рассмотрены методы исследования структуры твердых тел: рентгеновская дифрактометрия, электронография, атомно-силовая микроскопия, оже-электронная спектроскопия. Приводится описание физических основ методов, используемого оборудования и методик анализа данных. Издание предназначено для студентов направлений 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» и 16.03.01 «Техническая физика» для изучения дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем» и «Структурные методы исследований».