Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Сысоев В. В.
   Основы микро- и наносенсорики : учебное пособие / Сысоев В. В. - Саратовский государственный технический университет имени Ю. А. Гагарина, ЭБС АСВ, 2021. - ISBN 978-5-7433-3479-7.

Рассмотрены физико-химические принципы работы, устройство и применение различных типов сенсоров. Основное внимание уделено построению микросенсоров в рамках современных микроэлектронных и нанотехнологий. Представлены общие концепции получения сенсорных сигналов и их виды в рамках электрических измерений. Классификация сенсоров проведена согласно видам измеряемых физических и химических величин. Книга может быть полезна студентам и аспирантам, инженерно-техническим и научным работникам, преподавателям, специализирующимся в области технической физики и электроники.