Подробное описание документа

Бодров Е. Э.
   Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Бодров Е. Э. - Инфра-Инженерия, 2022. - ISBN 978-5-9729-0846-2.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/124225.html

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».