Личный кабинет
Подробное описание документа
Камлюк В. С., Камлюк Д. В.
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / Камлюк В. С., Камлюк Д. В. - Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. -
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
