Личный кабинет
Подробное описание документа
Смирнов В. И.
Технология интегральных микросхем : учебное пособие / Смирнов В. И. - Инфра-Инженерия, 2023. -
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
