Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Никифоров И. К.
   Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Никифоров И. К. - Инфра-Инженерия, 2023. - ISBN 978-5-9729-1230-8.

Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.