Подробное описание документа
Никифоров И. К.
Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Никифоров И. К. - Инфра-Инженерия, 2023. -
Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.
