Личный кабинет
Подробное описание документа
Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Величко А. А., Гришина И. В., Игнатов А. Н. [и др.] ; ред. Игнатова А. Н. - Инфра-Инженерия, 2023. -
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.
