Личный кабинет
Подробное описание документа
Проведение научных экспериментов в наноинженерии : учебное пособие / Адамова А. А., Башков В. М., Власов А. И. [и др.] ; ред. Шахнова В. А. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2015. -
Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).
