Подробное описание документа
Глушко А. А.
Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus : методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «автоматизация проектирования электронных средств» / Глушко А. А. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2015. -
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».
