Подробное описание документа

Гребенщикова М. М., Миронов М. М.
   Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / Гребенщикова М. М., Миронов М. М. - Издательство КНИТУ, 2022. - ISBN 978-5-7882-3285-0.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/136179.html

Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов.