Подробное описание документа

Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В.
   Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкина А. Б. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2014. - ISBN 978-5-7038-4029-0.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/136707.html

Рассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий. Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем.