Подробное описание документа

Битнер Л. Р.
Вакуумная и плазменная электроника : учебное пособие / Битнер Л. Р. - Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007.
Учебно-методическое пособие предназначено для студентов специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и студентов направления 210100 «Электроника и микроэлектроника» (бакалавриат).