Подробное описание документа

Романовский М. Н.
Интегральные устройства радиоэлектроники. Часть 1. Основные структуры полупроводниковых интегральных схем : учебное пособие / Романовский М. Н. - Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2012.
Рассмотрены материалы, технология изготовления, модели основных структур полупроводниковых интегральных схем. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств».