Подробное описание документа

Троян П. Е., Сахаров Ю. В.
Наноэлектроника : учебное пособие / Троян П. Е., Сахаров Ю. В. - Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010.
Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов.