Подробное описание документа

Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П.
Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие для спо / Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П. ; ред. Дерябина В. А. - Профобразование, Уральский федеральный университет, 2024. -
В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии».