Личный кабинет
Подробное описание документа
Перинский В. В., Перинская И. В.
Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 1 : учебное пособие / Перинский В. В., Перинская И. В. - Ай Пи Ар Медиа, 2024. -
Ионная имплантация приобрела в последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств и других приборов современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения металлов. Исследования эффектов ионной имплантации в металлы ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках тепловыделяющих элементов ядерных реакторов, увеличение срока службы шарикоподшипников, повышение твердости и износостойкости инструмента, создание медицинских имплантатов. Учебное пособие состоит из двух частей. Часть первая содержит информацию о достижениях ионной имплантации, закономерностях материаловедения, методологии электроники, технологий нанесения металлических структур интегральных схем. Подготовлено в соответствии с Федеральным государственным образовательным стандартом высшего образования. Издание будет полезно при изучении дисциплин «Электротехническое и конструкционное материаловедение», «Создание современных материалов с использованием электротехнологий», «Методология научного исследования» по укрупненной группе направлений подготовки и специальностей «Электро- и теплоэнергетика», а также может представлять интерес для преподавателей, научных работников, инженеров и аспирантов.
