Подробное описание документа

Казаков В. Д.
Сканирующие зондовые микроскопы : справочник / Казаков В. Д. - Инфра-Инженерия, 2024. -
Кратко изложены основы сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены принципы работы основных типов зондовых микроскопов (сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа, электросилового микроскопа, магнитно-силового микроскопа ближнепольного оптического микроскопа), наиболее широко используемых в научных исследованиях. Для студентов факультета радиоэлектроники и автоматики. Может быть полезно специалистам, разрабатывающим нано-устройства.