Подробное описание документа

Романовский М. Н.
Интегральные устройства радиоэлектроники. Ч. 1. Основные структуры полупроводниковых интегральных схем : учебное пособие для вузов / Романовский М. Н. - Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2022.
Рассмотрены материалы, технология изготовления, модели основных структур полупроводниковых интегральных схем.