Личный кабинет
Подробное описание документа
Перинский В. В., Перинская И. В.
Электротехнология и электрофизика. Ионное легирование арсенида галлия : монография / Перинский В. В., Перинская И. В. - Ай Пи Ар Медиа, 2025. -
В издании авторами рассматривается ионное легирование монокристаллического и эпитаксиального арсенида галлия — электрофизический способ изготовления активных — проводящих, изолирующих — высокоомных областей компонентов монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона, обладающий чертами базовой электротехнологии. На современном научном уровне представлены методология, достижения, электрофизика и компьютерное моделирование ионного легирования материалов МИС СВЧ, проблема качества структур арсенида галлия для СВЧ полевых транзисторов, роль процессов кластеризации в электротехнологии ионного легирования и изоляции арсенида галлия. Предложены ионные варианты электротехнологии безрезистной литографии, изготовления СВЧ полевых транзисторов, металлических резисторов и межслойных конденсаторов, датчиков, способы ионно-лучевой защиты поверхности микроэлектронных изделий от внешних и химических воздействий, ионно-модифицированные аналоги драгоценных металлов для монолитных СВЧ-устройств. Монография предназначена для ученых специальности «Электротехнология и электрофизика» и инженеров-разработчиков МИС СВЧ, а также студентов укрупненной группы специальностей и направлений подготовки «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии» и всех, кто интересуется СВЧ-приборами.
