Подробное описание документа
Семенов А. М.
Физика сверхвысокого вакуума для ускорителей заряженных частиц : учебное пособие / Семенов А. М. - Новосибирский государственный технический университет, 2024. -
В учебном пособии рассмотрены основные требования, предъявляемые к вакуумным системам современных ускорителей заряженных частиц. Поскольку наиболее важную роль в получении сверхвысокого вакуума играет поверхность, то большое внимание уделено основным физическим процессам, таким как физическая сорбция, хемосорбция, термическая и особенно нетермическая десорбция. Представлены формулы для расчета проводимости вакуумных элементов различной конфигурации и рассмотрены конструкционные материалы, применяемые в сверхвысоком вакууме. Учебное пособие предназначено для студентов ФТФ и РЭФ, обучающихся по направлениям 03.04.02 «Физика» и 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и изучающих физику и технику сверхвысокого вакуума, а также рекомендовано для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования. Работа подготовлена в рамках мероприятий по выполнению Соглашения № 075-15-2021-1359/1 на реализацию отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019–2027 гг.
