Подробное описание документа

Гриценко В. А., Елисеев А. П., Иванов М. В.
   Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах / Гриценко В. А., Елисеев А. П., Иванов М. В. ; ред. Асеев А. Л., Гриценко В. А. - [Б.м.] : Сибирское отделение РАН, 2011. - ISBN 978-5-7692-1183-6.

IPR Смарт

https://www.iprbookshop.ru/books/15815/d…

Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al2O3, HfO2, Ta2O5, ZrO2, TiO2, твердые растворы (HfO2)x(Al2O3)1 - x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO2, оксинитрида SiOxNy и нитрида Si3N4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.