Подробное описание документа

Каменецких А. С., Кайгородов А. С.
   Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях. Ч. 2. Модификация материалов : учебное пособие / Каменецких А. С., Кайгородов А. С. ; ред. Чолаха С. О. - Издательство Уральского университета, 2024. - ISBN 978-5-7996-3866-5 (ч. 2), 978-5-7996-3822-1.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/161377.html

В пособии рассмотрены плазменно-пучковые технологии, применяемые для модификации и синтеза материалов, основные принципы построения и типы источников ионов и электронов, генераторов плазмы, а также технологических процессов, реализуемых с использованием этих устройств. Учебное пособие может быть использовано аспирантами и студентами, обучающимися на физических специальностях, в том числе на курсах «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей». Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», аспирантов и научных работников.