Личный кабинет
Подробное описание документа
Филяк М. М.
Конструктивно-технологические основы микроэлектроники : учебное пособие / Филяк М. М. - Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ, 2011.
В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем. Учебное пособие предназначено для студентов направлений подготовки 210200 – Проектирование и технология электронных средств и 210100 – Электроника и наноэлектроника.
