Подробное описание документа

Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А.
   Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники : учебное пособие / Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А. - [Б.м.] : Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2013. - ISBN 978-5-7038-3729-0.

IPR СМАРТ

https://www.iprbookshop.ru/books/30892/d…

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».