Личный кабинет
Подробное описание документа
Нарайкин О. С., Потловский К. Г., Холевин В. В.
Введение в микросистемную технику : учебное пособие / Нарайкин О. С., Потловский К. Г., Холевин В. В. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2011.
Микросистемная техника – активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника».
