Подробное описание документа
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 4. Зондовые нанотехнологии : учебное пособие / Иванов Ю. А., Башков В. М., Шашурин В. Д. [и др.]. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2007. -
Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».
