Личный кабинет
Подробное описание документа
Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки : учебное пособие / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И. [и др.]. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2010.
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.
