Личный кабинет
Подробное описание документа
Физические основы микро- и нанотехнологий : учебное пособие / Бычков С. П., Михайлов В. П., Панфилов Ю. В. [и др.] ; ред. Цветков Ю. Б. - [Б.м.] : Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2009. -
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
