Личный кабинет
Подробное описание документа
Беркин А. Б., Василевский А. И.
Физические основы вакуумной техники : учебное пособие / Беркин А. Б., Василевский А. И. - Новосибирский государственный технический университет, 2014. -
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
