Личный кабинет
Подробное описание документа
Иванов И. Г.
Вакуумный практикум : учебно-методическое пособие / Иванов И. Г. - Издательство Южного федерального университета, 2009. -
В пособии дается описание лабораторных работ практикума по физическим основам вакуумной техники, при выполнении которого студенты знакомятся с кинетикой различных молекулярных процессов в вакууме, с основными принципами получения и измерения малых давлений, а также основными принципами вакуумной тонкопленочной технологии. Рекомендуется в качестве методического руководства для студентов 2–3 курсов физических специальностей.
