Подробное описание документа

Рабинович О. И., Крутогин Д. Г.
   Основы технологии электронной компонентной базы : методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов. лабораторный практикум / Рабинович О. И., Крутогин Д. Г. - Издательский Дом МИСиС, 2013. - ISBN 978-5-87623-710-1.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/56231.html

В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций.