Личный кабинет
Подробное описание документа
Орлова М. Н., Борзых И. В.
Наноэлектроника : курс лекций / Орлова М. Н., Борзых И. В. - Издательский Дом МИСиС, 2013. -
Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Курс лекций представляет собой практическое руководство для студентов и аспирантов технических вузов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
