Подробное описание документа

Панфилович К. Б., Бударин П. И., Садыков А. Х.
Физические основы вакуумной техники : учебное пособие / Панфилович К. Б., Бударин П. И., Садыков А. Х. - Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2008. -
Содержит краткое изложение основ теории, описание экспериментальных стендов, методик проведения измерений и обработки опытных данных. Предназначен для студентов третьего и четвертого курсов специальности «Вакуумная техника электрофизических установок».