Личный кабинет
Подробное описание документа
Королев А. П., Баршутин С. Н.
Автоматизация технологического проектирования РЭС : учебное пособие / Королев А. П., Баршутин С. Н. - Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2012.
Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физико-топологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС. Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств», магистрантов направления 150100 «Материаловедение и технологии материалов» при изучении курсов «Основы технологии покрытий» и «Электровакуумные технологии получения пленок и многослойных покрытий» и бакалавров направления 150100 при изучении курсов «Математическое моделирование процессов твердофазных технологий», «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» и «Теория геретоструктур» всех форм обучения.
