Личный кабинет
Подробное описание документа
Камлюк В. С., Камлюк Д. В.
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В. С., Камлюк Д. В. - Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. -
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
