Подробное описание документа
Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П.
Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П. - Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014. -
Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.