Личный кабинет
Подробное описание документа
Перов Г. В., Смирнова К. А., Сединин В. И.
Особенности электрофизических свойств ультратонких диэлектриков на неоднородной поверхности затворов энергонезависимой памяти : монография / Перов Г. В., Смирнова К. А., Сединин В. И. - Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики, 2016.
Представлены обзорные материалы более 130 источников по конструкции, принципу действия, энергонезависимой памяти (ЗУ). Рассмотрены электрофизические процессы проводимости в ультратонких пленках окисла на неоднородной поверхности поликремния затвора ЗУ. Проанализированы статистические и дискретные модели электронной и ионной проводимости диэлектрика на неоднородной поверхности. Определены принципы и способы повышения электрической прочности термического окисла на поликремнии затвора ЗУ.
