Личный кабинет
Подробное описание документа
Хорин И. А.
Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Хорин И. А. - Ай Пи Эр Медиа, 2018. -
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
