Личный кабинет
Подробное описание документа
Светличный А. М., Житяев И. Л.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А. М., Житяев И. Л. - Издательство Южного федерального университета, 2017. -
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
