Личный кабинет
Подробное описание документа
Лазеры в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Малюков С. П., Саенко А. В., Клунникова Ю. В. [и др.]. - Издательство Южного федерального университета, 2018. -
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
